Vakuuma slēdzis ir slēdža veids, kas paredzēts, lai uzraudzītu noteiktu vakuuma līmeņu diapazonu; to sauc arī par vakuuma releju. Tās funkcija ir automātiski atvērt vai aizvērt vadības ķēdi-un vienlaikus ģenerēt elektrisko signālu-, kad faktiskais darbības laikā radītais vakuuma līmenis sasniedz iepriekš noteiktu prasību, tādējādi dodot norādījumus vakuuma adsorbcijas mehānismam veikt normālu darbību. Tas ir klasificēts kā sastāvdaļa, kas ir būtiska gan uzticamībai, gan drošībai.
Vakuuma slēdži ir iedalīti trīs veidos: mehāniskie, pusvadītāju un pneimatiskie tilti. Mehāniskie vakuuma slēdži nosaka vakuuma spiediena izmaiņas, izmantojot mehānisko pārvietošanu,{1}}piemērs tam ir diafragmas{2} tipa vakuuma slēdzis. Savukārt pusvadītāju vakuuma slēdži izmanto pusvadītāju spiediena sensorus, lai noteiktu vakuuma spiediena izmaiņas, un tie spēj tieši pārveidot noteiktos spiediena signālus elektriskos signālos.